蛍光X線の分析深さは、試料の主成分、測定元素（分析線）によって変化します。
・主成分が軽元素ほど深く、重元素ほど浅くなります。
・測定元素が重元素（分析線が⾼エネルギー）ほど深く、軽元素（分析線が低エネルギー）ほど浅くなります。

 

試料内部の元素から発生した蛍光X線は、試料の中で吸収を受けながら試料外に放出されます。
・主成分が軽元素で構成されていると、吸収の影響が弱くなるため分析深さは深くなります。
・蛍光X線のエネルギーが高い（重元素）の場合、X線の透過する力が強くなるため、分析深さは深くなります。
 

 

樹脂(PP)、アルミ材(Al)、鉄材(Fe)、スズ(Sn)、鉛材(Pb)中の分析深さ。FP法により、バルク試料での強度の95%になる膜厚を算出。