• No : 5696
  • 公開日時 : 2021/04/28 13:45
  • 印刷

(EDX) めっき膜厚測定(複数層)

めっきの定量分析を行いたいのですが、同じ元素が複数層にわたっている場合、膜厚の測定は可能でしょうか?
カテゴリー : 

回答

・どの層から発生した蛍光X線かを特定することはできないため、すべての層が未知の場合は、分析できません。
・未知層は1つ、残りの層は既知(膜厚・組成とも)の場合は、既知層を固定値入力することで、分析できる可能性があります。