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  • 公開日時 : 2021/04/28 13:25
  • 更新日時 : 2024/07/02 15:21
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(EDX) Cu合金中のSiやPの分析

Cu合金中のSi(ケイ素)やP(リン)といった軽元素について、できるだけ感度良く分析したいのですが、どのような設定を行えば良いですか？
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回答

（回答1）雰囲気を真空で分析してください。
　　　　⇒軽元素の感度が向上します。
 
＜雰囲気＞
  • 20Ca以下の軽元素は、蛍光X線のエネルギーが弱いため、空気中のN2(窒素)、O2(酸素)、CO2(二酸化炭素)などの気体分子に吸収され、強度が減衰します。
  • 真空やHe置換雰囲気下で測定することで、軽元素は高感度に分析できます。

（回答2）管電圧を下げて分析してください。
　　　　⇒Cuの蛍光X線の発生が抑えられ、軽元素の強度が高くなります。
 
＜管電圧の決め方＞
目的元素の蛍光X線のエネルギーが低く、主成分の蛍光X線のエネルギーが大きい場合は、管電圧を下げて測定することで、主成分の蛍光X線の励起を抑え、目的元素の感度を上げることができます。