• No : 12338
  • 公開日時 : 2026/07/14 16:55
  • 更新日時 : 2026/07/27 12:32
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(EDX) めっき試料の膜厚上限

蛍光X線による膜厚分析で、元素ごとにどこまでの厚さが分析可能でしょうか？

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回答

膜厚が薄い領域では、膜厚が増えると、蛍光X線の強度は増加します。
膜厚が厚くなるに従い、X線強度の増加は徐々に緩やかになり、最終的には強度が飽和して、⾦属の塊を測定した時の強度と同じになります。

下図では飽和蛍光X線強度の90%未満を膜厚測定可能範囲としています。（理論シミュレーション）