• No : 12336
  • 公開日時 : 2026/07/14 10:20
  • 更新日時 : 2026/08/31 08:35
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(ICPE) 計画停電時の処置

(ICPE-9000 / 9800シリーズ) 計画停電時の処置方法

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回答

<停電前>

  1. ソフトウェアから、真空ポンプを停止します。
  2. 真空ポンプのリーク弁(金色)を開けて真空ポンプ部を大気圧にします。
    5秒前後で完了するので、リーク弁を再度閉めます。
  3. ソフトウェアとPCをシャットダウンします。
  4. ICPE本体左側面のメインブレーカーを切ります。(念のために分析室の配電盤SWも切ります。)

<停電終了後>

  1. 配電盤SW、およびICPE本体左側面のメインブレーカーを確認し、ブレーカーを入れます。
  2. 真空ポンプのモレキュラーシーブスを交換します。
  3. 真空ポンプのリーク弁が閉まっていることを確認します。
  4. PC、およびソフトウェアを立ち上げます。
  5. ソフトウェアから、真空ポンプをONにします。
  6. 真空度が20Pa以下になるのを確認します。
    ⇒ ポンプON後、約20分間で20Pa以下に入らないと、ソフトウェアが自動的にポンプを停止させます。その際は再度ポンプをONにして確認します。
  7. 真空度が20Pa以下にならない場合は、ポンプを停止し、モレキュラーシーブスを再度交換して確認します。
  8. プラズマを点灯し、装置校正を実施して確認します。
    ※装置の停止時間が長いと、分光器が安定するまでに約1日程度かかる場合があります。その場合は翌日以降に装置校正と分析の確認をしてください。