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(EDX) 検出下限値
RoHSスクリーニング分析でEDXを使用しています。各材質におけるCd、Pb、Hg、Cr、Brの検出下限値はどの程度でしょうか？ また、検出下限値の算出方法は？
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回答
検出下限値は、下記の＜検出下限値まとめ＞をご確認ください。
なお、材質によりX線の出方が異なるため、検出下限値は異なります.（元素間の吸収励起）。
また、ご使用の機種によっても感度が異なるため変わってきます。
なお、材質によりX線の出方が異なるため、検出下限値は異なります.（元素間の吸収励起）。
また、ご使用の機種によっても感度が異なるため変わってきます。
＜検出下限値まとめ＞
＜検出下限値算出方法＞
- 実測の場合
検量線作成後、0ppm（もしくは0ppmに近い）の試料を単純10回繰り返し測定を行い、その標準偏差の3倍（3σ）を計算する。
- 理論計算の場合
0ppmにおけるX線強度（散乱X線：BG）の統計変動（理論標準偏差）を計算し、その3倍した値を含有量に変換する。
L.L.D＝ 3×b×{BG/(μA×T)}1/2
b：検量線傾き（%/(cps/μA)）
BG：0ppmの散乱X線強度（cps/μA）
μA：電流値（μA）
T：積分時間（sec）
L.L.D＝ 3×b×{BG/(μA×T)}1/2
b：検量線傾き（%/(cps/μA)）
BG：0ppmの散乱X線強度（cps/μA）
μA：電流値（μA）
T：積分時間（sec）
形状補正が入っている測定条件においては、注意が必要！！
検量線の縦軸をご確認ください。
縦軸 「測定強度(cps/μA)」：形状補正なし
検量線の縦軸をご確認ください。
縦軸 「測定強度(cps/μA)」：形状補正なし
「測定強度比」：形状補正あり