よくあるご質問（FAQ）
(EDX) Cu合金中のSiやPの分析
Cu合金中のSi(ケイ素)やP(リン)といった軽元素について、できるだけ感度良く分析したいのですが、どのような設定を行えば良いですか？
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回答
（回答1）雰囲気を真空で分析してください。
⇒軽元素の感度が向上します。
⇒軽元素の感度が向上します。
＜雰囲気＞
- 20Ca以下の軽元素は、蛍光X線のエネルギーが弱いため、空気中のN2(窒素)、O2(酸素)、CO2(二酸化炭素)などの気体分子に吸収され、強度が減衰します。
- 真空やHe置換雰囲気下で測定することで、軽元素は高感度に分析できます。
（回答2）管電圧を下げて分析してください。
⇒Cuの蛍光X線の発生が抑えられ、軽元素の強度が高くなります。
＜管電圧の決め方＞
目的元素の蛍光X線のエネルギーが低く、主成分の蛍光X線のエネルギーが大きい場合は、管電圧を下げて測定することで、主成分の蛍光X線の励起を抑え、目的元素の感度を上げることができます。
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