よくあるご質問（FAQ）

＜停電前＞

1. ソフトウェアから、真空ポンプを停止します。
2. 真空ポンプのリーク弁（金色）を開けて真空ポンプ部を大気圧にします。
   5秒前後で完了するので、リーク弁を再度閉めます。
3. ソフトウェアとPCをシャットダウンします。
4. ICPE本体左側面のメインブレーカーを切ります。（念のために分析室の配電盤SWも切ります。）

＜停電終了後＞

1. 配電盤SW、およびICPE本体左側面のメインブレーカーを確認し、ブレーカーを入れます。
2. 真空ポンプのモレキュラーシーブスを交換します。
3. 真空ポンプのリーク弁が閉まっていることを確認します。
4. PC、およびソフトウェアを立ち上げます。
5. ソフトウェアから、真空ポンプをONにします。
6. 真空度が20Pa以下になるのを確認します。
   ⇒ ポンプON後、約20分間で20Pa以下に入らないと、ソフトウェアが自動的にポンプを停止させます。その際は再度ポンプをONにして確認します。
7. 真空度が20Pa以下にならない場合は、ポンプを停止し、モレキュラーシーブスを再度交換して確認します。
8. プラズマを点灯し、装置校正を実施して確認します。
   ※装置の停止時間が長いと、分光器が安定するまでに約１日程度かかる場合があります。その場合は翌日以降に装置校正と分析の確認をしてください。