よくあるご質問(FAQ)
(EDX) 検出下限値
RoHSスクリーニング分析でEDXを使用しています。各材質におけるCd、Pb、Hg、Cr、Brの検出下限値はどの程度でしょうか? また、検出下限値の算出方法は?
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回答
検出下限値は、下記の<検出下限値まとめ>をご確認ください。
なお、材質によりX線の出方が異なるため、検出下限値は異なります.(元素間の吸収励起)。
また、ご使用の機種によっても感度が異なるため変わってきます。
なお、材質によりX線の出方が異なるため、検出下限値は異なります.(元素間の吸収励起)。
また、ご使用の機種によっても感度が異なるため変わってきます。
<検出下限値まとめ>

<検出下限値算出方法>
- 実測の場合
検量線作成後、0ppm(もしくは0ppmに近い)の試料を単純10回繰り返し測定を行い、その標準偏差の3倍(3σ)を計算する。
- 理論計算の場合
0ppmにおけるX線強度(散乱X線:BG)の統計変動(理論標準偏差)を計算し、その3倍した値を含有量に変換する。
L.L.D= 3×b×{BG/(μA×T)}1/2
b:検量線傾き(%/(cps/μA))
BG:0ppmの散乱X線強度(cps/μA)
μA:電流値(μA)
T:積分時間(sec)
L.L.D= 3×b×{BG/(μA×T)}1/2
b:検量線傾き(%/(cps/μA))
BG:0ppmの散乱X線強度(cps/μA)
μA:電流値(μA)
T:積分時間(sec)

形状補正が入っている測定条件においては、注意が必要!!
検量線の縦軸をご確認ください。
縦軸 「測定強度(cps/μA)」:形状補正なし
検量線の縦軸をご確認ください。
縦軸 「測定強度(cps/μA)」:形状補正なし
「測定強度比」:形状補正あり
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