煙が出る、こげくさい臭いがするなどの異常が発見された時は、以下の処理を行ってください。
なお、再び使用するときは装置を点検し、必要に応じて当社営業所/代理店または
当社指定のサービス担当店に連絡してください。
• DUHシリーズ
1. 制御装置の電源スイッチをOFFにしてください。
2. 制御装置背面の電源ケーブルを取り外してください。
• 電動X-Yステージ
1. 非常停止ボタンをON にしてください。
2. 制御装置の電源スイッチをOFF にしてください。
3. 制御装置背面の電源ケーブルを取り外してください。