(TD-30) リークチェックでエラーとなる

(TD-30) リークチェックが不合格となる、「リークチェック時に圧力が正常範囲になりませんでした」などのエラーが発生する。（0x8300, 0x8301, 0x0302）

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回答

原因1：供給圧力が低い
⇒対策1：ガスの元栓や供給圧などを確認してください。
原因2：リークチェック閾値が高い
⇒対策2：リークチェック圧力は、98-102 kPaなので、それよりも低い閾値を設定してください。（［装置］メニューから［装置情報設定］を選択し、装置情報を設定します。）
▼［装置情報設定］

原因3：シールジョイント側あるいはシールブロック側のO-ringが劣化している
⇒対策3：O-ringを交換してください。

　部品番号：S036-15680-09 O-ring AS568A009 7075UP （耐熱O-ring）
　部品番号：S223-57166-91 O-ring PTFEコーティング（20個入）常温用・キャップ用O-ring
原因4：チューブ端面に傷がついている
⇒対策4：チューブ端面に傷や欠けが認められる場合は、新しいチューブと交換してください。

　部品番号：S225-23328-41 トラップチューブTenaxTA
　部品番号：S225-23328-42 トラップチューブCBCS（オプション）
　部品番号：S223-54144-92 トラップチューブCX（オプション）
原因5：6ポートバルブロータに漏れが生じた
⇒対策5：バルブローターを交換してください。

　部品番号：S040-28090-25 バルブローターValcon T
その他：配管・電磁弁に漏れが生じた、チューブが破損した、など
⇒当社営業所／代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。