• No : 3131
  • 公開日時 : 2020/11/16 14:01

レンズ系の保守

レンズ系の保守(洗浄・部品交換方法)
レンズ系はイオン化部によって発生したイオンを収束させるため、長期間の使用によって汚れが生じ、検出感度が低下します。このためレンズ系部品のQarray、スキマー、マルチポールの洗浄を行ってください。また、著しい感度低下が見られた場合でもレンズ系部品を洗浄してください。
 
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