よくあるご質問(FAQ)
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(ICPS) 軸方向観測用オリフィスのクリーニング(ICPS-7510)
(ICPS) 軸方向観測用オリフィスのクリーニング(ICPS-7510)
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回答
注記: オリフィスのクリーニングは、試料のコンタミネーション、異常放電の防止効果があります。
警告: プラズマ消灯後3分以内はスタンド内部に触れないでください。
部品番号: 211-43740 オリフィスASSY
【軽微な汚れの洗浄方法1(純水ふき取り)】
1. 純水を湿らせたカーゼでオリフィスASSYの表面を拭く。
2. カーゼで表面の水分を取り除く。
1. 純水を湿らせたカーゼでオリフィスASSYの表面を拭く。
2. カーゼで表面の水分を取り除く。
【軽微な汚れの洗浄方法2(酸溶液ふき取り)】
1. 希硝酸または希塩酸を湿らせたカーゼでオリフィスASSYの表面を拭く。
2. 純水を湿らせたカーゼで酸溶液を充分にふき取る。
3. カーゼで表面の水分を取り除く。
1. 希硝酸または希塩酸を湿らせたカーゼでオリフィスASSYの表面を拭く。
2. 純水を湿らせたカーゼで酸溶液を充分にふき取る。
3. カーゼで表面の水分を取り除く。
【頑固な汚れの洗浄方法】
1. オリフィスの取り外し
![](/usr/file/attachment/96DdGU84y2bMAO0v.png)
1) プラズマスタンドから冷却ジャケットを取り外す。
2) オリフィスをスパナで回す。(スパナ13使用)
3) 締め付けが緩んだら手で回してオリフィスを外す。
2) オリフィスをスパナで回す。(スパナ13使用)
3) 締め付けが緩んだら手で回してオリフィスを外す。
2. オリフィスの洗浄
1) 塩酸(HCl)2規定溶液に2分間入れる。
1) 塩酸(HCl)2規定溶液に2分間入れる。
注記: 長時間塩酸に入れないでください。母材が溶け出しオリフィスの形状が変化します。
注記: オリフィスは消耗品です。
2) 塩酸から取り出して純水で洗う。
3) ガーゼで表面(特にタングステンチップの表面)をふく。
3) ガーゼで表面(特にタングステンチップの表面)をふく。
注記: オリフィスは超音波洗浄しないでください。
3. オリフィスの取り付け
1) オリフィスを手で回してジャケットに取り付ける。
2) スパナで軽く締め付ける。
3) 冷却ジャケットをプラズマスタンドに取り付ける。
1) オリフィスを手で回してジャケットに取り付ける。
2) スパナで軽く締め付ける。
3) 冷却ジャケットをプラズマスタンドに取り付ける。
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