よくあるご質問(FAQ)

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  • No : 6749
  • 公開日時 : 2021/08/18 15:05
  • 更新日時 : 2022/01/17 15:44
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(ICPS) 軸方向観測用オリフィスのクリーニング(ICPS-7510)

(ICPS) 軸方向観測用オリフィスのクリーニング(ICPS-7510)
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回答

注記: オリフィスのクリーニングは、試料のコンタミネーション、異常放電の防止効果があります。
警告: プラズマ消灯後3分以内はスタンド内部に触れないでください。
部品番号: 211-43740  オリフィスASSY
 
【軽微な汚れの洗浄方法1(純水ふき取り)】
1. 純水を湿らせたカーゼでオリフィスASSYの表面を拭く。
2. カーゼで表面の水分を取り除く。
 
【軽微な汚れの洗浄方法2(酸溶液ふき取り)】
1. 希硝酸または希塩酸を湿らせたカーゼでオリフィスASSYの表面を拭く。
2. 純水を湿らせたカーゼで酸溶液を充分にふき取る。
3. カーゼで表面の水分を取り除く。
 
【頑固な汚れの洗浄方法】
1. オリフィスの取り外し
  
  1) プラズマスタンドから冷却ジャケットを取り外す。 
  2) オリフィスをスパナで回す。(スパナ13使用)
  3) 締め付けが緩んだら手で回してオリフィスを外す。
 
2. オリフィスの洗浄
  1) 塩酸(HCl)2規定溶液に2分間入れる。
    注記: 長時間塩酸に入れないでください。母材が溶け出しオリフィスの形状が変化します。
    注記: オリフィスは消耗品です。
  2) 塩酸から取り出して純水で洗う。
  3) ガーゼで表面(特にタングステンチップの表面)をふく。
    注記: オリフィスは超音波洗浄しないでください。
 
3. オリフィスの取り付け
  1) オリフィスを手で回してジャケットに取り付ける。
  2) スパナで軽く締め付ける。
  3) 冷却ジャケットをプラズマスタンドに取り付ける。

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