よくあるご質問（FAQ）

注記: オリフィスのクリーニングは、試料のコンタミネーション、異常放電の防止効果があります。

警告: プラズマ消灯後3分以内はスタンド内部に触れないでください。

部品番号: 211-43740  オリフィスASSY

 

【軽微な汚れの洗浄方法１(純水ふき取り)】
1. 純水を湿らせたカーゼでオリフィスASSYの表面を拭く。
2. カーゼで表面の水分を取り除く。

 

【軽微な汚れの洗浄方法２(酸溶液ふき取り)】
1. 希硝酸または希塩酸を湿らせたカーゼでオリフィスASSYの表面を拭く。
2. 純水を湿らせたカーゼで酸溶液を充分にふき取る。
3. カーゼで表面の水分を取り除く。

 

【頑固な汚れの洗浄方法】

1. オリフィスの取り外し

  

  1) プラズマスタンドから冷却ジャケットを取り外す。 
  2) オリフィスをスパナで回す。(スパナ13使用)
  3) 締め付けが緩んだら手で回してオリフィスを外す。

 

2. オリフィスの洗浄
  1) 塩酸(HCl)2規定溶液に2分間入れる。

    注記: 長時間塩酸に入れないでください。母材が溶け出しオリフィスの形状が変化します。

    注記: オリフィスは消耗品です。

  2) 塩酸から取り出して純水で洗う。
  3) ガーゼで表面（特にタングステンチップの表面）をふく。

    注記: オリフィスは超音波洗浄しないでください。

 

3. オリフィスの取り付け
  1) オリフィスを手で回してジャケットに取り付ける。
  2) スパナで軽く締め付ける。
  3) 冷却ジャケットをプラズマスタンドに取り付ける。