よくあるご質問(FAQ)

  • 文字サイズ変更
  • S
  • M
  • L
  • No : 6748
  • 公開日時 : 2021/08/18 14:50
  • 印刷

(ICPS) 軸方向観測用折曲げミラーのクリーニング(ICPS-7510)

(ICPS) 軸方向観測用折曲げミラーのクリーニング(ICPS-7510)
カテゴリー : 

回答

警告: 火傷をする恐れがあります。以下の作業はプラズマを消灯し、冷却ジャケット部が充分冷えた状態(プラズマ消灯後3 分以上たった後)で行ってください。
  
1) ナットを外し、ミラーホルダを冷却ジャケット部から取り出す。
2) ミラーホルダに取り付けているミラーをアルコールで湿らせたガーゼを用いてクリーニングする。
  注記: ミラーに傷をつけないように気をつけてください。
3) ミラークリーニング後ミラーホルダを冷却ジャケットに挿入する。
4) ミラーホルダのピンが冷却ジャケットの切欠き部(切欠きの右側端部)に当たっていることを確認し、ナットをしめつけミラーホルダを固定する。

アンケート:ご意見をお聞かせください

ご意見・ご感想をお寄せください ご返信が必要な場合は、下記お問い合わせ先までご連絡ください

よくあるご質問で解決しない場合は、下記よりお問い合わせください

本サイトはPKSHA Communication社のシステム"OKBIZ. for FAQ"を利用しています。
Top of This Page