よくあるご質問（FAQ）

警告: 火傷をする恐れがあります。以下の作業はプラズマを消灯し、冷却ジャケット部が充分冷えた状態(プラズマ消灯後3 分以上たった後)で行ってください。

  

1) ナットを外し、ミラーホルダを冷却ジャケット部から取り出す。
2) ミラーホルダに取り付けているミラーをアルコールで湿らせたガーゼを用いてクリーニングする。

  注記: ミラーに傷をつけないように気をつけてください。

3) ミラークリーニング後ミラーホルダを冷却ジャケットに挿入する。
4) ミラーホルダのピンが冷却ジャケットの切欠き部(切欠きの右側端部)に当たっていることを確認し、ナットをしめつけミラーホルダを固定する。