よくあるご質問(FAQ)
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(ICPE) 真空ポンプ停止時の処置
(ICPE) 真空ポンプ停止時の処置
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回答
注記: 真空ポンプを停止する場合は、モレキュラシーブのケース内を大気状態にしてください。
1. 真空ポンプを停止した後、リークバルブを開ける。
(上から見て、反時計方向に2回転程回す)
(上から見て、反時計方向に2回転程回す)
2. リーク音が消えた後、リークバルブを閉じる。
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