よくあるご質問（FAQ）

1. 装置に冷却水を供給する。
  水道水利用の場合は、水道水の元栓を開きます。冷却水送水装置をご使用の場合は、冷却水送水装置を始動します。

 

2. 装置にアルゴンガスを供給する。
  アルゴンガス元栓を開きます。装置に供給するアルゴンガスの圧力は450±10kPaです。

 

3. プラズマスタンド排気管の上にある貴社取り付けの排気ダクトをONする。
  警告: 酸欠の恐れがあります。必ず排気ダクトを動作させてください。

 

4. プラズマスタンドを開け、冷却ジャケット、ガラスウエア等が正常にセットされている事を確認する。
  参照「冷却ジャケットの取り付けと取り外し」は、こちら
  注記: 冷却ジャケットに冷却水配管とアルゴンパージ管が接続されていることを確認してください。
    接続されていない時にプラズマを点灯すると、冷却ジャケットが破損する恐れがあります。

5 ソフトウェアを起動し、操作を行う。
  注記:

    • 立ち上げ手順の途中で異常がみられた場合は、電源スイッチその他の電源を切り、冷却水、アルゴンガスの供給を止め、当社まで連絡してください。
    • 真空ポンプ稼動時にはオイルシール部分より油がにじみ出ることがあります。
      この油により床が汚れることがありますので、必要に応じてポンプをバット等に乗せて使用してください。
      このとき、ポンプ設置時にポンプの本体部分にバットの縁が触れないように設置してください。
      なお、バットは装置に付属しません。下記の商品または同等品を別途ご準備してください。
      部品番号: 038-00323-07 バツト,14インチ
    • 真空ポンプ稼動開始より20分後に真空度エラーが表示されるときは、［装置］メニューの「真空ポンプON/OFF」ウィンドウで、再度真空ポンプをONしてください。
      再度、真空度エラーが表示される場合は、「真空ポンプのメンテナンス」を参照して、モレキュラシーブを交換してください。

      「真空ポンプのメンテナンス」は、こちら
      それでも、真空度エラーが発生する場合は、当社営業所／代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。