• 文字サイズ変更
  • S
  • M
  • L
  • No : 5709
  • 公開日時 : 2021/04/28 13:56
  • 更新日時 : 2024/06/03 17:04
  • 印刷

(EDX) 分析深さ

蛍光X線分析の、分析深さはどのくらいですか?
(SEM-EDSは表面1~2μm程度と記憶しているのですが。)
カテゴリー : 

回答

蛍光X線の分析深さは、試料の主成分、測定元素(分析線)によって変化します。
・主成分が軽元素ほど深く、重元素ほど浅くなります。
・測定元素が重元素(分析線が⾼エネルギー)ほど深く、軽元素(分析線が低エネルギー)ほど浅くなります。
 
試料内部の元素から発生した蛍光X線は、試料の中で吸収を受けながら試料外に放出されます。
・主成分が軽元素で構成されていると、吸収の影響が弱くなるため分析深さは深くなります。
・蛍光X線のエネルギーが高い(重元素)の場合、X線の透過する力が強くなるため、分析深さは深くなります。
 
 
樹脂(PP)、アルミ材(Al)、鉄材(Fe)、スズ(Sn)、鉛材(Pb)中の分析深さ。FP法により、バルク試料での強度の95%になる膜厚を算出。

 

アンケート:ご意見をお聞かせください

ご意見・ご感想をお寄せください ご返信が必要な場合は、画面下部の4つのお問い合わせボタン(赤色)からお願いします
本サイトはPKSHA Communication社のシステム"PKSHA FAQ"を利用しています。