よくあるご質問(FAQ)

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  • No : 5694
  • 公開日時 : 2021/04/28 13:43
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(EDX) めっき膜厚測定の厚さ

めっきの膜厚測定をしたいと考えています。
どれくらいの厚さまで測定可能ですか?
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回答

元素によって、分析(脱出)深さが異なるため、一概に申し上げにくいところもありますが、目安としては、
・厚膜:数μm~数十μm
・薄膜:0.数nm~数nm

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