よくあるご質問(FAQ)

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  • No : 4594
  • 公開日時 : 2020/12/17 16:03
  • 更新日時 : 2020/12/17 16:04
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(GCMS) 真空排気時のエラー

(GCMS) 真空排気時のエラー
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回答

真空系の自動起動でエラーが発生する場合は、以下の原因が考えられます。
原因1: RP1が回転してない。
対策1: RP1の電源ケーブルをMS背面に接続し、RP1のスイッチをONにしておいてください。
解決しない場合は、当社営業所/代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。
 
原因2: ターボ分子ポンプの異常。
対策2: ピラニゲージ真空度が300Pa未満になってもターボ分子ポンプが起動しない場合は、当社営業所/代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。
 
原因3: RP1のオイル量が規定量入ってない。
対策3: RP1のオイル量を調節してください。
 
原因4: 真空漏れ。
対策4: 真空漏れチェックを行なってください。
真空漏れチェックはこちら
 
停電後真空排気系が自動復帰しない場合
原因1: 自動復帰モードになってない。設定はこちら
原因2: 停電時に真空系が停止していた。

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