よくあるご質問(FAQ)

  • No : 3138
  • 公開日時 : 2020/11/17 12:48
  • 更新日時 : 2020/11/19 08:31
  • 印刷

真空漏れチェック

回答

真空に漏れのある状態で装置を運転することは感度低下、ノイズ増加、イオンゲージ(真空計)のフィラメント切断など不具合の原因となります。そのため、装置を停止したあと、装置を再起動したときには必ず真空漏れチェックを行ってください。
MSの真空漏れは、ロータリーポンプが正常に動作できないような大きな漏れから、トリプルインレットターボ分子ポンプの正常な動作に支障がないような小さな漏れまでさまざまです。この真空漏れは些細なことから生じます。
レンズ系扉とハウジングとの接続部、およびオリフィスなどの部品同士の接続部には必ずOリングが入っています。このOリングが接続部分で双方の面に密着することにより、真空漏れを防ぎ、ハウジングを真空状態に保ちます。Oリングにゴミが付着していたり、Oリングを付け忘れていたりすると真空漏れをおこします。
装置を停止させ、真空中のメンテナンスを行った場合(レンズ系のクリーニング、DLの交換、オリフィスの交換)には真空漏れを防ぐため以下のことに注意してください。
 
真空漏れを防ぐための注意
• シール面に傷を付けない
• Oリングを付け忘れない
• Oリングを正しく付ける
• Oリングに付着したゴミを取り除く
• Oリングが密着する面(シール面)上のゴミを取り除く
 
次のような場合、ロータリーポンプやトリプルインレットターボ分子ポンプが正常に動作していません。
• ロータリーポンプの排気音が数分経過したあとも静かにならない。
• トリプルインレットターボ分子ポンプが起動したが、約10分経過して自動的に真空排気系の電源がOFFになった。
これらの場合には、真空漏れまたは真空ポンプの異常が考えられます。真空ハウジングが大気圧にリークされたのち、レンズ系扉、DL、オリフィスについて前述の「真空漏れを防ぐための注意」に従って確認してください。
上記以外で真空漏れを引き起こしていると思われる場合は当社営業所/代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。
注記: 圧力が高いときはメンテナンスした箇所に注意してください。
 
 
 

アンケート:ご意見をお聞かせください

ご意見・ご感想をお寄せください ご返信が必要な場合は、下記お問い合わせ先までご連絡ください

よくあるご質問で解決しない場合は、下記よりお問い合わせください

本サイトはPRAZNA社のFAQシステム"OKBIZ. for FAQ"を利用しています。
Top of This Page