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  • No : 12549
  • 公開日時 : 2026/09/29 11:04
  • 更新日時 : 2026/10/07 16:49
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(EDX) 検出器のエラーが表示される

(EDX-7000 / 8000 / 8100 / 7200) 検出器のエラーが表示される。

  • 0606:検出器温度センサーエラー
  • 0607:検出器冷却部エラー
  • 0608:検出器バイアス電源エラー
  • 0609:検出器温度エラー
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回答

検出器温度※が -10℃から -20℃を示す際は、検出器の窓部が破損している恐れがあります。

※) 検出器温度は、[装置モニタ] 画面から [詳細表示] を選択して確認してください。

真空オプションをお持ちの場合は、試料室内に試料がないことを確認したうえで、マニュアル制御により真空引きを実施してください。

<PCEDX-Navi>の場合

<PCEDX-Pro>の場合

 

真空引きの実施から5分ほど経過した後、検出器温度が -20℃ ⇒ -30℃ ⇒ -40℃のように低下していく場合には検出器窓が破損している可能性が高く、検出器の交換が必要です。

真空オプションがない場合、または真空引きを実施しても検出器温度に大きな変化が見られない場合は、当社営業所 / 代理店  または 当社指定のサービス会社にご連絡ください。

この際、PCの logフォルダ(C:\pcedx\log)の内容をZip形式に圧縮してご用意いただくと原因解明の手助けになります。(データファイルの送信先については担当者にお尋ねください。)

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