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  • No : 11822
  • 公開日時 : 2025/10/23 16:31
  • 更新日時 : 2025/11/07 15:05
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(LCMS) 真空系エラーが発生する

(LCMS) 真空系の自動起動でエラーが発生する。真空系が起動しない。

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回答

下記の原因と対処方法をご確認ください。

原因

対処方法

ロータリーポンプが起動していない ロータリーポンプの電源が入っているか確認してください。
(LCMS-8060の場合、ロータリーポンプ電源は本体とは独立して接続されていますので、ブレーカーの状態を確認してください。)
  
また、MS本体とロータリーポンプをつなぐケーブルが正しく接続されていない場合、LCMS-8045/8050RXなどではロータリーポンプへの電源が供給されず、LCMS-8060RXなどではロータリーポンプにスタート信号が入りませんので、ケーブルの接続を確認してください。
ロータリーポンプのオイルが規定量入っていない オイルがMINとMAXの間にあるか確認してください。
 ☞ ロータリーポンプの保守
 
部屋の温度が設置条件外になっている 部屋の温度を、18~28℃に設定してください。
(LCMS-2050以外の場合)
DLプラグを挿していない
DLプラグを挿しこんでから真空系を起動してください。
ターボ分子ポンプが起動していない ロータリーポンプが起動している場合は、自動停止を行ってください。
停止後MS本体の主電源を入れなおしてください。
(1度で起動しない場合は、1~2回繰り返してください。)
MS本体の排気口が詰まっている
LCMS-2020は左側面、LCMS-80XXシリーズは装置背面のフィルタが詰まっていないか確認してください。 詰まっている場合は、フィルタ(S042-60935-14)の清掃・交換が必要です。
 ・LCMS-2020:お客様での交換ができないため、交換の際は当社営業所 / 代理店または当社指定のサービス会社にご連絡ください。
 ・LCMS-2050:こちらを参照してください。
 ・LCMS-80XX:背面ファン(下図参照)の清掃を行ってください。
(黒い枠の部分を軽く広げながら引っ張ると枠が外れますので、清掃・交換を行ってください。) 
真空漏れが発生している (LCMS-2050の場合)
真空系の異常を検知した場合、 保護機能によりMS装置を自動停止します。 このとき、MS装置のステータスLEDが赤色に点灯し、アウトプットウィンドウに [MS: 真空系起動 TMPエラー] と表示されます。
このような場合、 LabSolutionsを終了し、PCおよびMS装置の電源をOFFにしてください。 各部のOリングの真空漏れを確認、修正後、 MS装置を再起動してください。
 参照:LCMS-2050 取扱説明書「3.1 装置の起動」「3.2 装置の停止」「6.5.5 真空漏れチェック」
同様の現象が起こる場合は、 ロータリーポンプ・ターボ分子ポンプの異常、リーク弁の異常が考えられます。 当社営業所 / 代理店または当社指定のサービス会社にご連絡ください。

上記の確認・対処を行っても改善しない場合は、当社営業所 / 代理店または当社指定のサービス会社にご連絡ください。この際、下記のいずれかの方法でロータリーポンプ・ターボ分子ポンプの使用時間を事前に確認していただければ幸いです。

  • LabSolutionsと接続し、分析画面アシスタントバー内の [メイン] にある [システムチェック] を実行する。
    システムチェック
     
  • LabSolutions分析画面の右に表示されているモニタ詳細画面で確認する。


    [詳細] ボタンを押すとロータリーポンプとターボ分子ポンプの稼働時間が確認できます。

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