よくあるご質問(FAQ)
(TD-30) リークチェックでエラーとなる
(TD-30) リークチェックが不合格となる、「リークチェック時に圧力が正常範囲になりませんでした」などのエラーが発生する。(0x8300, 0x8301, 0x0302)
- カテゴリー :
回答
原因 |
対策 |
|
| 供給圧力が低い。 | ガスの元栓や供給圧などを確認してください。 | |
| リークチェック閾値が高い。 | リークチェック圧力は、98-102 kPaなので、それよりも低い閾値を設定してください。([装置]メニューから[装置情報設定]を選択し、装置情報を設定します。) | |
| シールジョイント側あるいはシールブロック側のO-ringが劣化している。 | O-ringを交換してください。 | |
| <新型※の場合> ・036-15680-10 Oリング, AS568A010 7075(耐熱O-ring) ・223-57166-91 O-ring PTFEコーティング(20個入) 常温用・キャップ用 ※新型:過去対策実施品または下記機体番号 ・TD-30 機体番号 C12576300463以降 ・TD-30R 機体番号 C12576300447以降 |
<旧型(左記以外)の場合> ・036-15680-09 O-ring AS568A009 7075UP(耐熱O-ring) ・223-57166-91 O-ring PTFEコーティング(20個入) 常温用・キャップ用 |
|
| チューブ端面に傷がついている。 | チューブ端面に傷や欠けが認められる場合は、新しいチューブと交換してください。 ・部品番号:225-23328-41 トラップチューブTenaxTA ・部品番号:225-23328-42 トラップチューブCBCS(オプション) ・部品番号:223-54144-92 トラップチューブCX(オプション) |
|
| 6ポートバルブロータに漏れが生じた。 | バルブローターを交換してください。 ・部品番号:040-28090-25 バルブローターValcon T |
|
| その他:配管・電磁弁に漏れが生じた、チューブが破損した、など。 | こちらのWebフォームからお問い合わせいただくか、当社営業所 / 代理店 / 当社指定のサービス会社にご連絡ください。 | |
アンケート:ご意見をお聞かせください
本サイトはPKSHA Technology社のシステム"PKSHA FAQ"を利用しています。