• No : 6675
  • 公開日時 : 2021/07/30 09:07
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(ICPE) 真空ポンプ停止時の処置

(ICPE) 真空ポンプ停止時の処置
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回答

注記: 真空ポンプを停止する場合は、モレキュラシーブのケース内を大気状態にしてください。
 
1. 真空ポンプを停止した後、リークバルブを開ける。
  (上から見て、反時計方向に2回転程回す)
 
2. リーク音が消えた後、リークバルブを閉じる。