• No : 6658
  • 公開日時 : 2021/07/27 16:11
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(ICPE) 安全装置の動作確認

(ICPE) 安全装置の動作確認
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回答

本装置に装備されている安全装置は、以下のようにして動作確認することができます。
安全装置の動作確認は、定期的に(月1回)行ってください。
 
1 アルゴンガス圧センサ
  1)プラズマを点灯した状態にします。
  2)アルゴンガスの供給を止めると、プラズマが消えることを確認します。
 
2 プラズマスタンドドアスイッチ
  1) プラズマを点灯した状態にします。
  2) プラズマスタンドドアを開くと、プラズマが消えることを確認します。
 
3 高周波誘導コイル、高周波電源・オリフィスASSY等の冷却水スイッチ
  1) プラズマを点灯した状態にします。
  2) 冷却水を止めると、プラズマが消える事を確認します。