めっき厚をEDXで測ることは可能です。
定量計算方法は検量線法と薄膜FP法の2種類があります。
多層膜のめっき厚測定の場合、薄膜FP法の方が適しています。
めっき厚測定を⾏うには以下の2つの点を満たしている必要があります。
1) 試料の層の数、各層の元素情報が分かっている。
2) 分析径（コリメータ径）以上の平らな面がある。