• No : 4649
  • 公開日時 : 2020/12/14 15:02
  • 更新日時 : 2026/01/09 10:09
  • 印刷

Flow#圧力/流量オフセット値がずれています[エラーコード:2338 2339 2340 2341 2342 2343]

フローコントローラの圧力センサ出力が大きく変化しています。
カテゴリー : 

回答

圧力センサ異常の可能性があります。ガス供給を停止し、装置の主電源を切り、当社営業所 / 代理店  / 当社指定のサービス会社にご連絡ください。
 
＜GCMSの場合＞
 停電からの復帰時など、MSの真空稼働中にGCの電源を入れた場合、カラム入口が負圧になりエラーが発生します。
  • エラー発生時にはカラムの注入口側を取り外し、GCを再起動してください。
  • 再起動しても解決しない場合は、AFCのゼロキャリブレーションを実施してください。
    ☞ (GC) ゼロキャリブレーション