• No : 4648
  • 公開日時 : 2020/12/14 15:02
  • 更新日時 : 2024/09/13 16:54
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Flow#バルブが正しく制御できません[エラーコード:2322 2323 2324 2325 2326 2327]

フローコントローラの圧力制御バルブが正常に動作していません。
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回答

フローコントローラのバルブまたは基板不良の可能性があります。ガス供給を停止し、装置の主電源を切り、当社営業所／代理店、または当社指定のサービス担当店に連絡してください。
 
＜備考＞H2キャリア、FID/FTD/FPDのH2ライン、TCDのH2メイクアップ、AUX-APCでガス種をH2に設定した場合は、安全のため本エラーを検知するとスリープ状態へ移行します。