X線照射測定窓から試料が離れると、X線の強度が大きく低下します。また、X線が斜めに入射することで焦点位置がずれる場合があります。
（以下の図は、測定窓から試料が離れたときの強度変化の例ですが、4.5 mm離れただけで強度はおよそ半分以下に減衰し、14 mm離れるとほとんど検出できなくなります。）

試料を加工するなどの方法で、可能な限り試料を測定窓に近づけ、また平らになるようにして測定してください。

測定窓と試料の距離による強度変化（SUS試料）

注）上図は、バルク金属試料のデータ例です。樹脂材やメッキなどの特殊な試料の場合は、強度変化の程度が異なるため、参考値としてご覧ください。