顕微 ATR 測定において、接触位置のずれが発生する場合、原因としてサンプルの固定が不十分であることが考えられます。
固定が不十分の場合、ATR 結晶と接触する際に試料がわずかに動き、結果として指定位置と異なる場所へATR結晶が接触する現象が発生します。

対策として、粘着テープ使用時は十分に固定できているか確認し、可能であればテープ以外の固定方法も検討してください。また、試料表面が滑りやすい場合は、別途固定治具を使用してください。