(LCMS) 真空系の自動起動でエラーが発生する。真空系が起動しない。
下記の原因と対処方法をご確認ください。
原因 |
対処方法 |
| ロータリーポンプが起動していない | ロータリーポンプの電源が入っているか確認してください。 (LCMS-8060の場合、ロータリーポンプ電源は本体とは独立して接続されていますので、ブレーカーの状態を確認してください。) また、MS本体とロータリーポンプをつなぐケーブルが正しく接続されていない場合、LCMS-8045/8050RXなどではロータリーポンプへの電源が供給されず、LCMS-8060RXなどではロータリーポンプにスタート信号が入りませんので、ケーブルの接続を確認してください。 |
| ロータリーポンプのオイルが規定量入っていない | オイルがMINとMAXの間にあるか確認してください。 ☞ ロータリーポンプの保守 ![]() |
| 部屋の温度が設置条件外になっている | 部屋の温度を、18~28℃に設定してください。 |
| (LCMS-2050以外の場合) DLプラグを挿していない |
DLプラグを挿しこんでから真空系を起動してください。 ![]() |
| ターボ分子ポンプが起動していない | ロータリーポンプが起動している場合は、自動停止を行ってください。 停止後MS本体の主電源を入れなおしてください。 (1度で起動しない場合は、1~2回繰り返してください。) |
| MS本体の排気口が詰まっている | LCMS-2020は左側面、LCMS-80XXシリーズは装置背面のフィルタが詰まっていないか確認してください。 詰まっている場合は、フィルタ(S042-60935-14)の清掃・交換が必要です。
・LCMS-2020:お客様での交換ができないため、交換の際は当社営業所 / 代理店または当社指定のサービス会社にご連絡ください。 ・LCMS-2050:こちらを参照してください。 ・LCMS-80XX:背面ファン(下図参照)の清掃を行ってください。 (黒い枠の部分を軽く広げながら引っ張ると枠が外れますので、清掃・交換を行ってください。) ![]() |
| 真空漏れが発生している | (LCMS-2050の場合) 真空系の異常を検知した場合、 保護機能によりMS装置を自動停止します。 このとき、MS装置のステータスLEDが赤色に点灯し、アウトプットウィンドウに [MS: 真空系起動 TMPエラー] と表示されます。 このような場合、 LabSolutionsを終了し、PCおよびMS装置の電源をOFFにしてください。 各部のOリングの真空漏れを確認、修正後、 MS装置を再起動してください。 参照:LCMS-2050 取扱説明書「3.1 装置の起動」「3.2 装置の停止」「6.5.5 真空漏れチェック」 同様の現象が起こる場合は、 ロータリーポンプ・ターボ分子ポンプの異常、リーク弁の異常が考えられます。 当社営業所 / 代理店または当社指定のサービス会社にご連絡ください。 |
上記の確認・対処を行っても改善しない場合は、当社営業所 / 代理店または当社指定のサービス会社にご連絡ください。この際、下記のいずれかの方法でロータリーポンプ・ターボ分子ポンプの使用時間を事前に確認していただければ幸いです。

