• No : 10428
  • 公開日時 : 2024/08/02 15:19
  • 更新日時 : 2024/08/05 13:27
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(TD-30) リークチェックでエラーとなる

(TD-30) リークチェックが不合格となる、「リークチェック時に圧力が正常範囲になりませんでした」などのエラーが発生する。(0x8300, 0x8301, 0x0302)
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回答

  • 原因1:供給圧力が低い
    ⇒対策1:ガスの元栓や供給圧などを確認してください。
     
  • 原因2:リークチェック閾値が高い
    ⇒対策2:リークチェック圧力は、98-102 kPaなので、それよりも低い閾値を設定してください。([装置]メニューから[装置情報設定]を選択し、装置情報を設定します。)

  • 原因3:シールジョイント側あるいはシールブロック側のO-ringが劣化している
    ⇒対策3:O-ringを交換してください。

     部品番号:S036-15680-09 O-ring AS568A009 7075UP (耐熱O-ring)
     部品番号:S223-57166-91 O-ring PTFEコーティング(20個入) 常温用・キャップ用O-ring
     
  • 原因4:チューブ端面に傷がついている
    ⇒対策4:チューブ端面に傷や欠けが認められる場合は、新しいチューブと交換してください。

     部品番号:S225-23328-41 トラップチューブTenaxTA
     部品番号:S225-23328-42 トラップチューブCBCS(オプション)
     部品番号:S223-54144-92 トラップチューブCX(オプション)
     
  • 原因5:6ポートバルブロータに漏れが生じた
    ⇒対策5: バルブローターを交換してください。

     部品番号:S040-28090-25 バルブローターValcon T
     
  • その他:配管・電磁弁に漏れが生じた、チューブが破損した、など
    ⇒当社営業所/代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。