よくあるご質問（FAQ）

注意: 断続的(長期運転休止しない場合)にご使用になる場合は、「装置内部電源の通電」から起動操作をしてください。
  本装置据付時や長期間の運転休止後に起動される場合は、「装置の通電」から起動操作をしてください。

 

1. 装置の通電

  1) 装置に通電する前に、下記状態になっていることを確認します。
    • 操作ボックスの左側の[OPERATE]キースイッチがOFFであること(ONならOFFにします)

    

    • 操作ボックスの右側の[EMERGENCY STOP]スイッチが押下状態でロックされていないこと
      (ロックされていれば、時計方向に回して解除してください。)

    

    • HVCユニットのＸ線発生装置ブレーカーがON(OFFならONにします)

      

    • 装置周囲温度が15～30ºC以内であること

 

  2) 主電源ブレーカーをONにし、[POWER ON]スイッチをONにします。
    本装置が通電します。

    

    

    注記: 操作ボックスの[EMERGENCY STOP]スイッチが押下状態でロックされていると、装置には通電されません。その場合には、「異常終了時の復旧方法」を参照してください。

    "(SMX-225CT) 異常終了時の復旧方法"は、こちら

    注意: 周囲温度が15～30ºCの範囲外では本装置に通電しないでください。装置内部のターボ分子ポンプ運転中に周囲温度が15～30ºCの範囲外では、主電源ブレーカーをOFFにして真空ポンプの運転を停止してください。
      ターボ分子ポンプの運転時周囲温度は15～30ºC以内です。

 

2. 装置内部電源の通電

  1) [OPERATE]キースイッチをONにします。
    [OPERATE]キースイッチは操作ボックスの左上にあります。
    本装置の運転を開始する時は、[OPERATE]キーを鍵穴に差し込み時計方向に回してキースイッチをONにします。

    

    注記:

    • Ｘ線発生装置の電源は主電源ブレーカーがONの間は操作ボックスの[OPERATE]キースイッチとは連動せず、常時供給されます。断続的にご使用になる場合は、Ｘ線発生装置の真空ポンプ（＝ダイアフラムポンプ・ターボ分子ポンプ）が原則として常時運転している必要があります。
    • [EMERGENCY STOP]スイッチを押すと、真空ポンプの運転が停止しますので、ご注意ください。

 

  2) X線パネルユニットのＸ線キースイッチがONであることを確認します。
    Ｘ線パネルユニットのＸ線キースイッチがOFFならONにします。

    

 

"ソフトウェアの起動"は、こちら