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  • 公開日時 : 2020/12/14 15:02
  • 更新日時 : 2026/01/09 10:09
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Flow#圧力/流量オフセット値がずれています[エラーコード:2338 2339 2340 2341 2342 2343]

フローコントローラの圧力センサ出力が大きく変化しています。
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回答

圧力センサ異常の可能性があります。ガス供給を停止し、装置の主電源を切り、当社営業所 / 代理店  / 当社指定のサービス会社にご連絡ください。
 
<GCMSの場合>
 停電からの復帰時など、MSの真空稼働中にGCの電源を入れた場合、カラム入口が負圧になりエラーが発生します。
  • エラー発生時にはカラムの注入口側を取り外し、GCを再起動してください。
  • 再起動しても解決しない場合は、AFCのゼロキャリブレーションを実施してください。
    (GC) ゼロキャリブレーション

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