• No : 6531
  • 公開日時 : 2021/07/06 10:44
  • 更新日時 : 2021/08/02 16:23
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(PDA) 分光器内圧異常

PDA-7000: 分光器内圧がOK にならない
PDA-8000: 分光器内圧がグリーンゾーンに入らない
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回答

« 原因 »
  • 集光レンズのOリングが正しく取り付けられていない。
  • 真空ポンプの油量が規定量でない。
  • 真空ポンプのポンプ油が汚れて排気能力が落ちている。
 
« 対策 »
  集光レンズと真空ポンプの保守・点検をしてください。
  • ポンプ油の交換は、こちら
 
解決しない場合は、当社営業所/代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。