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No : 4649
公開日時 : 2020/12/14 15:02
更新日時 : 2021/05/12 15:04
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Flow#圧力/流量オフセット値がずれています[エラーコード:2338 2339 2340 2341 2342 2343]
フローコントローラの圧力センサ出力が大きく変化しています。
カテゴリー :
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回答
圧力センサ異常の可能性があります。ガス供給を停止し、装置の主電源を切り、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。