真空系の自動起動でエラーが発生する場合は、以下の原因が考えられます。

原因1: RP1が回転してない。

対策1: RP1の電源ケーブルをMS背面に接続し、RP1のスイッチをONにしておいてください。

解決しない場合は、当社営業所／代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。

 

原因2: ターボ分子ポンプの異常。

対策2: ピラニゲージ真空度が300Pa未満になってもターボ分子ポンプが起動しない場合は、当社営業所／代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。

 

原因3: RP1のオイル量が規定量入ってない。

対策3: RP1のオイル量を調節してください。

 

原因4: 真空漏れ。

対策4: 真空漏れチェックを行なってください。

真空漏れチェックはこちら

 

停電後真空排気系が自動復帰しない場合

原因1: 自動復帰モードになってない。設定はこちら

原因2: 停電時に真空系が停止していた。