よくあるご質問（FAQ）

フォーカスカップ表面やＸ線管真空チャンバー内側を清掃します。フィラメント交換時やエージングが終わらないときにＸ線管真空チャンバーを清掃してください。

 

1. ステージ上に何も載っていないことを確認します。

 

2. SDDを1200 mmに移動します。

 

3. SRDを最大限まで移動します。

 

4. CTソフトウェアinspeXio64メイン画面の右上の[×]をクリックして終了します。

 

5. HVCユニットのＸ線発生装置ブレーカーをOFFしてＸ線発生装置の電源を切ります。
  Ｘ線発生装置の電源がONのまま作業すると感電するおそれがありますので、必ずOFFにしてください。

  

 

6. ターボ分子ポンプのベントバルブを反時計方向に1回転させ大気開放します。この状態で3分間待ちます。

  

  注意: ベントスクリューを完全に抜かないでください。
    故障の原因になります。

 

7. 大気開放している音(ベントバルブからチャンバーに空気が流入する音)がしなくなったのを確認して、Ｘ線管ヘッド部のクランプとローレットネジを外します。

  

 

8. ヒンジ部のＸ線管ヘッド固定レバーを上に引き上げてＸ線管ヘッドを開けた後、固定レバーを下に戻して開けた状態で固定します。

   

 

9. プラスドライバーを持って、フォーカスカップとＸ線管真空チャンバー間を短絡します。
  このとき、感電事故を避けるため、先にプラスドライバーをＸ線管真空チャンバーにつけた後、滑らせるようにして横からフォーカスカップに触れるようにしてください。
  先にフォーカスカップに触れると感電するおそれがあります。

  

 

10. ビニール手袋を装着してください。
  ビニール手袋を装着せずに作業すると、フォーカスカップやＸ線管真空チャンバー内に手垢や脂が付着して、放電の原因となるおそれがあります。

  

 

11. フォーカスカップ表面や真空チャンバー内側を、洗浄用アルコールを含ませたベンコットで清掃します。

 

12. Ｘ線管真空チャンバーのOリングに薄く真空グリース(部品番号: 017-30831-01)を塗布します。
  誤って、真空グリースがチャンバー内に付着した場合は、洗浄用アルコールを含ませたベンコットで洗浄してください。

13. ヒンジ部のＸ線管ヘッド固定レバーを上に引き上げてＸ線管ヘッドを閉じます。

  

 

14. Ｘ線管ヘッド部のクランプをロックした後、ローレットネジを締めます。

  

 

15. ターボ分子ポンプのベントバルブを時計方向に回して閉めます。

  

 

16. Ｘ線発生装置ブレーカーをONしてＸ線発生装置の電源を入れます。

  

 

17. 制御コンピューターのデスクトップの「inspeXio64」アイコンをダブルクリックしてCTソフトウェアinspeXio64を起動します。
  CTソフトウェアが起動して、下記メッセージが表示されます。

  

  真空排気系(ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプ)が正常に起動すると、上記メッセージが消えてCTソフトウェアinspeXio64メイン画面が表示されます。CTソフトウェアが起動してから上記メッセージが消えるまで通常3分程度かかります。3分以上経過しても上記メッセージが消えない場合やエラーメッセージが表示される場合は、Ｘ線パネルユニットのステータスを確認し、「Ｘ線パネルユニットのステータス」を参照してください。

  "(SMX-225CT) Ｘ線パネルユニットのステータス"は、こちら

 

18. Ｘ線制御部の  をクリックして、Ｘ線発生装置情報画面を表示します。

  

 

19. Ｘ線発生装置情報画面の真空計出力が15以下になるまで待機します。
  大気開放後、真空計出力が15以下になるまで通常2時間程度かかります。