よくあるご質問（FAQ）

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  • No : 8561
  • 公開日時 : 2022/04/28 10:07
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(SMX-6010) ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプの使用時間を確認する

(SMX-6010) ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプの使用時間を確認する
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回答

装置右側面のRUN TIMEインジケーターで、ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプの使用時間を確認できます。
オーバーホールの目安は、ターボ分子ポンプが約3年(約26280時間)、ダイアフラムポンプが約1.5年(約13140時間)です。
オーバーホールは、当社営業所／代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。

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