よくあるご質問（FAQ）

X線発生装置は、ターゲットに電子ビームを当ててX線を発生させます。電子ビームが当たる部分(X線発生点)は使用とともに損傷して、X線出力が低下します。
ターゲットローテーションは、ターゲットを回転させて電子ビームが当たる部分を変える操作です。
フィラメント交換時やX線出力が低下したときにターゲットローテーションをすることで、X線発生を良好な状態に保てます。

 

注記:

  • ターゲットローテーションをすることで、約200点のX線発生点を使用できます。1点あたりの耐久時間は約200時間です。
  • 交換用ターゲットは、部品番号: 362-65958 ターゲットASSY です。

 

1. X線発生装置の大気開放をします

  "(SMX-6010) 大気開放"は、こちら

 

2. ターゲットローテーションをします。
  1) X線発生装置上面の3箇所のボルト(M2.5)を六角レンチBP2で1～2回転緩めます。
  2) ターゲットの調整穴にプラスドライバの先を入れ、ターゲットを時計回りに約1mm回転させます。
  3) 3箇所のボルト(M2.5)を締めます。

  

 

3. ターボ分子ポンプのベントスクリューを締めます。

 

4. カーボン板をステージに取り付けて、正面扉を閉めます。

 

5. フィラメントの交換の「交換後の調整をする」の操作をします。

  "(SMX-6010) フィラメントの交換"は、こちら