よくあるご質問(FAQ)
(SMX-6010) 始業点検/初期化
(SMX-6010) 始業点検/初期化
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回答
始業点検/初期化では、正面扉の確認、X線発生装置の確認、ステージの原点復帰などを実施します。画面の内容に従って操作してください。
警告: 正面扉のガラスに傷や割れがないことを確認する。
ガラス面に傷や割れがあると、X線漏えいのおそれがあります。
傷や割れがあるときは、ただちに使用を中止して、当社営業所/代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。
ガラス面に傷や割れがあると、X線漏えいのおそれがあります。
傷や割れがあるときは、ただちに使用を中止して、当社営業所/代理店または当社指定のサービス担当店に連絡してください。
1. 正面扉を開けて、確実に閉めます。
注意: 正面扉はゆっくりと開閉する。
正面扉は重いため、開閉時に少しだけ動かしても、慣性力で動き続けようとします。
手や指を挟まないように注意しながら、ゆっくりと開閉してください。
また、正面扉には開閉時の速度を調整するためにドアクローザーを取り付けています。ドアクローザーのアームや正面扉に手や指を挟まないように注意してください。
正面扉は重いため、開閉時に少しだけ動かしても、慣性力で動き続けようとします。
手や指を挟まないように注意しながら、ゆっくりと開閉してください。
また、正面扉には開閉時の速度を調整するためにドアクローザーを取り付けています。ドアクローザーのアームや正面扉に手や指を挟まないように注意してください。

注記: ステージにワークがセットされていないことを必ず確認してください。セットされていると、初期化後の検査時、画像不良になることがあります。
また、ワークに不要なX線が照射されます。
また、ワークに不要なX線が照射されます。
2. [OK]をクリックします。

注記: [キャンセル]をクリックすると、装置はオフラインモードになります。
3. [開始]をクリックします。

X線発生装置の確認とステージの原点復帰が実施されます。
初期化の所要時間は以下のとおりです。
初期化の所要時間は以下のとおりです。

注記: X線アラームが発生し初期化が中断した場合、メッセージが表示されます。初期化を中断し、ワーク観察を行うことは可能ですが、未到達の管電圧出力値はオレンジで表示されます。
4. 初期化が終了したら、[OK]をクリックします。

以上で始業点検/初期化は終了です。
ステージがワーク交換位置に移動して、正面扉のロックが解除されます。制御ソフトウェアには観察開始画面が表示されます。

注意: ステージがワーク交換位置にないときは正面扉にロックがかかっているため、開ける方向に力をかけない。
ステージがワーク交換位置にないときは、正面扉が電磁ロック機構によりロックされます。ロック状態で無理に扉を開けようとすると、電磁ロック機構が故障するおそれがあります。
ステージがワーク交換位置にないときは、正面扉が電磁ロック機構によりロックされます。ロック状態で無理に扉を開けようとすると、電磁ロック機構が故障するおそれがあります。
注記:
• 前回の観察時にシーケンス機能を使ったときは、シーケンス開始画面が表示されます。
観察開始画面を表示して通常の観察をするときは、[シーケンス終了]をクリックして観察開始画面を表示します。
• 始業点検後に画像が暗いときは、「ビームアライメント調整」と「フィラメント値調整」を実施してください。
観察開始画面を表示して通常の観察をするときは、[シーケンス終了]をクリックして観察開始画面を表示します。
• 始業点検後に画像が暗いときは、「ビームアライメント調整」と「フィラメント値調整」を実施してください。
"(SMX-6010) ビームアライメント調整"は、こちら
"(SMX-6010) フィラメント値調整"は、こちら
改善しないときは、「フィラメントの交換」の内容に従ってフィラメントを交換してください。
"(SMX-6010) フィラメントの交換"は、こちら
• 始業点検後に画像が不良のときは、「フラットパネル検出器校正」を実施してください。
• 始業点検後に画像が不良のときは、「フラットパネル検出器校正」を実施してください。
"(SMX-6010) フラットパネル検出器校正"は、こちら
« オフラインモードについて »
装置が異常を検知したり、始業点検中に[キャンセルをクリックしたりすると、装置はオフラインモードになります。
オフラインモードではX線やステージを操作できないため、ワークの観察はできませんが、以下の操作は可能です。
• 保存された画像の確認や転送
• 装置情報の確認
オフラインモードから通常の状態に戻るときは、いったん装置を終了して再起動します。異常が発生しているときは、異常を解消してから終了してください。
装置が異常を検知したり、始業点検中に[キャンセルをクリックしたりすると、装置はオフラインモードになります。
オフラインモードではX線やステージを操作できないため、ワークの観察はできませんが、以下の操作は可能です。
• 保存された画像の確認や転送
• 装置情報の確認
オフラインモードから通常の状態に戻るときは、いったん装置を終了して再起動します。異常が発生しているときは、異常を解消してから終了してください。
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