よくあるご質問(FAQ)

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  • No : 7409
  • 公開日時 : 2021/11/18 13:27
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(SALD) フォトセンサの光軸確認

(SALD) フォトセンサの光軸確認
SALD-2300 / SALD-7500nano
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回答

注記: 光軸がずれていると正確な測定ができません。測定前に確認するようにしてください。
 
フォトセンサの光軸は、SALD用ソフトウェアWingSALDⅡの「診断調整画面」で確認することができます。
以下の2つの点を確認してください。
• D1~D4の数値が1000以上
• 水平垂直実線の交点が「位置センサ許容誤差範囲: 10000」内
光軸がずれている場合は、WingSALDⅡの取扱説明書にしたがって光軸調整を行ってください。
 
参照: 光軸調整の方法は、WingSALDⅡの取扱説明書「第9章保守・点検」を参照してください。

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