よくあるご質問（FAQ）
SCD真空排気が異常です[エラーコード:6113]
SCD内部に漏れがあります。
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回答
下の表を参照して漏れの原因を特定してください。
改善されないときは装置の主電源を切り、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。
| 原因 | 対策 |
|---|---|
| インナーパイロチューブが破損している。 |
インナーパイロチューブを交換する。
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| インナーパイロチューブのバックリングがついていない。 |
インナーパイロチューブのバックリングをつける。
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| インナーパイロチューブのフェルールが正しく挿入されていない。 |
インナーパイロチューブにフェルールが挿入されているか、状態に異常がないかを確認する。
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| カラムが適切に締結されていない。 |
・ナットの締結状態を確認する。
・増し締めを行う。 |
| 真空ポンプのスイッチが入っていない。 |
スイッチを入れる。
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| 真空引きが不十分。 |
真空ポンプのメンテナンスを行う。真空ポンプのメンテナンスをしても改善されないときは、真空ポンプの交換が必要です。
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| 真空ポンプとオゾンスクラバーの漏れ込みがある。 |
接続部を増し締めする。
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