よくあるご質問(FAQ)

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  • No : 2643
  • 公開日時 : 2020/09/17 09:40
  • 更新日時 : 2021/09/14 08:31
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エラーコード:[0x81F1] WARN : DEGAS PRS

エラーメッセージ: オンライン デガッサの真空ラインに気密不良が発生しています。
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回答

«主な原因»
この装置に接続されているオンライン デガッサの真空圧の異常が、一定時間続くと表示されます。オンライン デガッサの真空圧を確かめてください。
ヒント: LC-40シリーズでは、初期画面から[↑], [↓]キーを数回押し、[DEGAS PRESSURE]画面でオンラインデガッサの真空圧が確認できます。
  LC-20/30シリーズでは、初期画面から[func], [back]キーを数回押し、[MONITOR]画面で[enter]を押し、モニター設定グループに入ります。[func], [back]キーを数回押し、[DEGAS PRS]画面でオンラインデガッサの真空圧が確認できます。確認後、[CE]キーを数回押せば、初期画面に戻ります。
 
«処置»
真空圧が[NG]のときは、電源を切ってから、もう一度電源入れてください。真空圧が[OK]のときは、オンラインデガッサが自動復帰していますので問題ありません。

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