よくあるご質問(FAQ)
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『 エラー・ワーニング 』 内のFAQ
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・BID検出器ガス供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。 ・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。 ・当社指定のサービス担当に連絡し、使用している配管内径、長さを確認してください。 ・上記確認後も繰... 詳細表示
- No:5119
- 公開日時:2021/03/03 11:33
- 更新日時:2021/04/21 09:09
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・水素ガス、Airの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。 ・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。 ・当社指定のサービス担当に連絡し、使用している配管内径、長さを確認してください。 ・上記確認後も繰り返しエラーが表示... 詳細表示
- No:5120
- 公開日時:2021/03/03 11:41
- 更新日時:2021/12/09 13:46
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ガスセレクタn Subバルブが正しく閉じられていません[エラーコード:2356 2357]
装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。 詳細表示
- No:5121
- 公開日時:2021/03/03 11:43
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ガスセレクタn Purgeバルブが正しく閉じられていません[エラーコード:2354 2355]
装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。 詳細表示
- No:5122
- 公開日時:2021/03/03 11:45
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ガスセレクタn Mainバルブが正しく閉じられていません[エラーコード:2352 2353]
装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。 詳細表示
- No:5123
- 公開日時:2021/03/03 11:46
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DetAPCn referenceが過圧状態です[エラーコード:2292 2293 2294 2295]
・供給ガスの圧力を確認してください ・供給圧に問題がない場合は、装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。 詳細表示
- No:5124
- 公開日時:2021/03/03 11:48
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DAMCn makeupが過圧状態です[エラーコード:2288 2289 2290 2291]
・供給ガスの圧力を確認してください ・供給圧に問題がない場合は、装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。 詳細表示
- No:5125
- 公開日時:2021/03/03 11:49
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AOCm CH2コマンドが無効です[エラーコード:6007 6029]
実際の装置構成に応じてサンプラ使用、サブインジェクタ使用を設定してください。 対策後も再度エラーが発生する場合は、装置の主電源を切り、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。 詳細表示
- No:5273
- 公開日時:2021/03/29 10:21
- 更新日時:2021/03/31 19:23
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AOCm ターレットが異常です[エラーコード:6001 6023]
[AOC-30iの場合] 装置の主電源を切り、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。 [AOC-20iの場合] ターレットを取り外し、ラックギアを清掃したあと、ターレットを再度セットしてRESETキーを押してください。 再度エラーが発生する場合は、装置の主電源を切... 詳細表示
- No:5281
- 公開日時:2021/03/29 10:44
- 更新日時:2021/04/01 03:57
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AOCm シリンジが異常です[エラーコード:6002 6024]
[AOC-30iの場合] ・オートインジェクタが傾いて据え付けられていないか確認してください。 ・シリンジニードルが曲がっている場合はシリンジを交換してください。 上記確認後も再度エラーが発生する場合は、装置の主電源を切り、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。 ... 詳細表示
- No:5282
- 公開日時:2021/03/29 10:45
- 更新日時:2021/04/02 12:50
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