よくあるご質問(FAQ)
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『 エラー・ワーニング 』 内のFAQ
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DET#n TCD過電流を検出しました[エラーコード:4101 4102 4103 4104]
装置の主電源を切り、以下の項目を確認してください。 電流の設定値が最高使用電流を上回っていないか。 メイクアップガスが流れているか。 ガスが漏れていないか。 流路に多量の空気が混入していないか。 上記の確認後、装置の主電源を入れます。 引き続きエラーが表示されるときは、当社営業所、... 詳細表示
- No:4996
- 公開日時:2020/12/14 15:02
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DET#n FTD過電流を検出しました[エラーコード:4105 4106 4107 4108]
装置の主電源を切り、以下の項目を確認してください。 電流の設定値が最高使用電流を上回っていないか。 メイクアップガスが流れているか。 ガスが漏れていないか。 上記の確認後、装置の主電源を入れます。 引き続きエラーが表示されるときは、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡し... 詳細表示
- No:4997
- 公開日時:2020/12/14 15:02
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PURn圧力計算値が範囲外です[エラーコード:5042 5043 5044 5067 5068 5069 5103...
パージ流量がAFCの制御範囲内となるように設定してください。 詳細表示
- No:4998
- 公開日時:2020/12/14 15:02
- 更新日時:2021/05/10 16:58
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CARmスプリット比が範囲外です[エラーコード:5075 5076 5108 5109]
(全流量) = (カラム流量) + (カラム流量 * スプリット比) + (パージ流量) 上記の式を満たすようにスプリット比入力値を変更してください。 詳細表示
- No:4999
- 公開日時:2020/12/14 15:02
- 更新日時:2023/12/13 13:25
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[Prep Run待ち時間]を長くしてください。 以下の機能を使用しているとき、PREP RUN機能が動作します。 スプリットレス(待機時はスプリット) キャリアガスセーブ(待機時はセーブ状態) CRG(待機時は冷媒吹き出し停止) 高圧注入(待機時は通常圧力) バックフラッシュ... 詳細表示
- No:5000
- 公開日時:2020/12/14 15:02
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CARm AFCが設定値に到達しません[エラーコード:2130 2131 2204 2205]
・カラム入口圧力,全流量の設定値が「AFC制御範囲」(添付ファイル参照)に入っていることを確認してください。 ・ガスの元圧が開いていることを確認してください。 ・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。 ・当社指定のサービス担当に連絡し、使用している配管内径、長さを確認してください。 詳細表示
- No:5004
- 公開日時:2020/12/14 15:02
- 更新日時:2023/12/13 13:25
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CARnが過圧状態です[エラーコード:2214 2215 2216 2217]
・AFC動作中は供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。 ・ガスを供給した状態で再度GCを起動してください ・供給ガスの圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください(AFC制御範囲) ・供給圧力が安定していることを確認してください ・上記確認後改善しない場合は、装置の主電源を切り、ガスの供給を... 詳細表示
- No:5006
- 公開日時:2020/12/14 15:02
- 更新日時:2021/04/26 17:02
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PURnが過圧状態です[エラーコード:2218 2219 2220 2221]
・パージラインがブラインドされていないことを確認してください。 ・AFC動作中は供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。 ・ガスを供給した状態で再度GCを起動してください ・供給ガスの圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください(AFC制御範囲) ・供給圧力が安定していることを確認してください... 詳細表示
- No:5007
- 公開日時:2020/12/14 15:02
- 更新日時:2021/04/26 17:04
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DetAPCn makeupが過圧状態です。[エラーコード:2222 2225 2228 2231]
・APC動作中に供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。 ・ガスを供給した状態でGCを再起動してください ・メイクアップガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・供給圧力が安定していることを確認してください ・上記確認後改善しない場合は、APC制御システムの故障が考えられます... 詳細表示
- No:5043
- 公開日時:2020/12/14 15:02
- 更新日時:2021/04/26 17:59
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DetAPCn 水素が過圧状態です[エラーコード:2223 2226 2229 2232]
・APC動作中に供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。 ・ガスを供給した状態でGCを再起動してください ・水素ガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・供給圧力が安定していることを確認してください ・上記確認後改善しない場合は、APC制御システムの故障が考えられます... 詳細表示
- No:5044
- 公開日時:2020/12/14 15:02
- 更新日時:2021/04/28 15:48
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