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GC-2030

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  • DetAPCnが正しく制御できません[エラーコード:2100 2101 2102 2103 2104 2105...

    ・各ユニットへの供給圧力が範囲内に入っていることを確認してください。 ・各ユニットのガスを流すために必要な供給圧力となっていることを確認してください。 ・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。 ・上記確認後も繰り返しエラーが表示されるときは、装置の主電源を切... 詳細表示

  • CARn パージが正しく制御できません[エラーコード:2091 2092 2093 2203]

    ・各ユニットへの供給圧力が範囲内に入っていることを確認してください。 ・各ユニットのガスを流すために必要な供給圧力となっていることを確認してください。 AFC、APCの制御範囲_パージ流量_.pdf ・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。 ・上記確認... 詳細表示

  • APCxが過圧状態です[エラーコード:2234 2235 2236 2237 2238 2239 2240 224...

    ・AUXAPC動作中は供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。 ・ガスを供給した状態で再度GCを起動してください。 ・供給ガスの圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・供給圧力が安定していることを確認してください。 ・上記確認後改善しない場合は、装置の主電源を切り、ガスの供給... 詳細表示

  • DetAPCn ECDGが過圧状態です[エラーコード:2268 2269 2270 2271]

    ・APC動作中に供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。 ・ガスを供給した状態でGCを再起動してください。 ・ECD検出器ガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・供給圧力が安定していることを確認してください。 ・上記確認後改善しない場合は、APC制御システムの故障が... 詳細表示

  • DetAPCn DCGが過圧状態です[エラーコード:2264 2265 2266 2267]

    ・APC動作中に供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。 ・ガスを供給した状態でGCを再起動してください ・BID検出器ガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・供給圧力が安定していることを確認してください ・上記確認後改善しない場合は、APC制御システムの故障が考え... 詳細表示

  • DetAPCn 空気が過圧状態です[エラーコード:2224 2227 2230 2233]

    ・APC動作中に供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。 ・ガスを供給した状態でGCを再起動してください ・Airガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・供給圧力が安定していることを確認してください ・上記確認後改善しない場合は、APC制御システムの故障が考えられま... 詳細表示

  • DetAPCn 水素が過圧状態です[エラーコード:2223 2226 2229 2232]

    ・APC動作中に供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。 ・ガスを供給した状態でGCを再起動してください ・水素ガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・供給圧力が安定していることを確認してください ・上記確認後改善しない場合は、APC制御システムの故障が考えられます... 詳細表示

  • DetAPCn makeupが過圧状態です。[エラーコード:2222 2225 2228 2231]

    ・APC動作中に供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。 ・ガスを供給した状態でGCを再起動してください ・メイクアップガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・供給圧力が安定していることを確認してください ・上記確認後改善しない場合は、APC制御システムの故障が考えられます... 詳細表示

  • PURnが過圧状態です[エラーコード:2218 2219 2220 2221]

    ・パージラインがブラインドされていないことを確認してください。 ・AFC動作中は供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。 ・ガスを供給した状態で再度GCを起動してください ・供給ガスの圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください(AFC制御範囲) ・供給圧力が安定していることを確認してください... 詳細表示

  • CARnが過圧状態です[エラーコード:2214 2215 2216 2217]

    ・AFC動作中は供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。 ・ガスを供給した状態で再度GCを起動してください ・供給ガスの圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください(AFC制御範囲) ・供給圧力が安定していることを確認してください ・上記確認後改善しない場合は、装置の主電源を切り、ガスの供給を... 詳細表示

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