ガスセレクタn Subバルブが正しく閉じ

装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。

水素、空気 APCが不安定です[エラーコ

・水素ガス、Airの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。・当社指定のサービス担当に連絡し、使用してい

DCG APCが不安定です[エラーコード

・BID検出器ガス供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。・当社指定のサービス担当に

DCG流量が不足しています[エラーコード

・ガスの元栓が開いていることを確認してください。・ガスの供給圧力が以下の表の範囲に入っていることを確認してください。・ヘリウムガス精製機 HP2を使用している場合は、配管接続部から漏れがないか確認して

SCD酸素の供給圧力が不足しています[エ

・ガスの元栓が開いていることを確認してください。・ガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。・当社指定のサービス担当に連絡し、使用している配管内径、

SCD水素の供給圧力が不足しています[エ

・水素ガスを流すために必要な供給圧力となっていることを確認してください。・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。・上記確認後も繰り返しエラーが表示されるときは、フローコントローラの故障が考えられます。

SCD WDTエラー[エラーコード:61

装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。

SCDヒータリレーがONに固着しています

装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。

SCDフローコントローラ1に接続できま

装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。

SCDフローコントローラ2に接続できませ

装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。

よくあるご質問（FAQ）

Q: 水素、空気 APCが不安定です[エラーコ

・水素ガス、Airの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。 ・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。 ・当社指定のサービス担当に連絡し、使用してい

Q: DCG APCが不安定です[エラーコード

・BID検出器ガス供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。 ・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。 ・当社指定のサービス担当に

Q: DCG流量が不足しています[エラーコード

・ガスの元栓が開いていることを確認してください。 ・ガスの供給圧力が以下の表の範囲に入っていることを確認してください。 ・ヘリウムガス精製機 HP2を使用している場合は、配管接続部から漏れがないか確認して

Q: SCD酸素の供給圧力が不足しています[エ

・ガスの元栓が開いていることを確認してください。 ・ガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。 ・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。 ・当社指定のサービス担当に連絡し、使用している配管内径、

Q: SCD水素の供給圧力が不足しています[エ

・水素ガスを流すために必要な供給圧力となっていることを確認してください。 ・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。 ・上記確認後も繰り返しエラーが表示されるときは、フローコントローラの故障が考えられます。

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ガスセレクタn Subバルブが正しく閉じられていません[エラーコード:2356 2357]

装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。詳細表示
- No：5121
- 公開日時：2021/03/03 11:43
- カテゴリー：エラー・ワーニング
水素、空気 APCが不安定です[エラーコード:4207]

・水素ガス、Airの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。・当社指定のサービス担当に連絡し、使用している配管内径、長さを確認してください。・上記確認後も繰り返しエラーが表示... 詳細表示
- No：5120
- 公開日時：2021/03/03 11:41
- 更新日時：2021/12/09 13:46
- カテゴリー：エラー・ワーニング
DCG APCが不安定です[エラーコード:4212]

・BID検出器ガス供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。・当社指定のサービス担当に連絡し、使用している配管内径、長さを確認してください。・上記確認後も繰... 詳細表示
- No：5119
- 公開日時：2021/03/03 11:33
- 更新日時：2021/04/21 09:09
- カテゴリー：エラー・ワーニング
DCG流量が不足しています[エラーコード:4213]

・ガスの元栓が開いていることを確認してください。・ガスの供給圧力が以下の表の範囲に入っていることを確認してください。・ヘリウムガス精製機 HP2を使用している場合は、配管接続部から漏れがないか確認してください。・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。・当社... 詳細表示
- No：5118
- 公開日時：2021/03/03 11:29
- 更新日時：2021/04/16 15:56
- カテゴリー：エラー・ワーニング
SCD酸素の供給圧力が不足しています[エラーコード:6146]

・ガスの元栓が開いていることを確認してください。・ガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。・配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。・当社指定のサービス担当に連絡し、使用している配管内径、長さを確認してください。詳細表示
- No：5116
- 公開日時：2021/03/03 11:19
- 更新日時：2021/04/21 09:08
- カテゴリー：エラー・ワーニング
SCD水素の供給圧力が不足しています[エラーコード:6147]

・水素ガスを流すために必要な供給圧力となっていることを確認してください。・ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。・上記確認後も繰り返しエラーが表示されるときは、フローコントローラの故障が考えられます。装置の主電源を切り、ガスの供給を止め、当社営業所、代理店、当社指定のサービ... 詳細表示
- No：5115
- 公開日時：2021/03/03 11:15
- 更新日時：2021/05/05 07:09
- カテゴリー：エラー・ワーニング
SCD WDTエラー[エラーコード:6148]

装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。詳細表示
- No：5114
- 公開日時：2021/03/03 11:08
- 更新日時：2021/04/07 11:18
- カテゴリー：エラー・ワーニング
SCDヒータリレーがONに固着しています[エラーコード:6149]

装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。詳細表示
- No：5113
- 公開日時：2021/03/03 11:07
- 更新日時：2021/04/07 11:19
- カテゴリー：エラー・ワーニング
SCDフローコントローラ1に接続できません[エラーコード:6151]

装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。詳細表示
- No：5112
- 公開日時：2021/03/03 11:06
- 更新日時：2021/04/07 11:20
- カテゴリー：エラー・ワーニング
SCDフローコントローラ2に接続できません[エラーコード:6152]

装置の主電源を切り、ガスの供給を止めて、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。詳細表示
- No：5111
- 公開日時：2021/03/03 11:05
- 更新日時：2021/04/07 11:20
- カテゴリー：エラー・ワーニング

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